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図

図①のような2つの平行金属板(電極)間の静電容量は、

C=ɛɛr ─で表わされます。

ɛo:真空(=空気)の誘電率
ɛr:絶縁体と真空の誘電率の比
絶縁体の誘電率=ɛɛr となります。

図02

図②のように電極間に比誘電率 ɛr の絶縁体を入れると
静電容量は初めの ɛr 倍になります。

図03

図③のように平行金属板の間隔dを一定にして
厚さtの測定物を電極間に入れると
厚さtに応じて静電容量が変化します。

そのほかにもサブミクロンオーダーの微少変位、微粉濃度、流量測定にもご利用いただけます

グラフ

実例として標準電極(検出面積φ20)間隔d=11mmに
1~10mmのアクリル板を挿入し、測定した結果を下表
に示します。
電極間隔d=1mmでは、弊社の最高検出感度10-3pF/の
静電容量変換器を用いれば0.05μmの分解能も可能です。
尚、測定物厚みの非直線性は補正を行うことにより直線
性が可能です。

使用した機器 静電容量計HC-102型

hc102